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真空泵的選擇原則及各類(lèi)真空泵的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2016年02月09日 09:55   閱讀:5466   返回   來(lái)源:澤德

  真空泵的性能在很大程度上決定了真空系統(tǒng)的性能,在選用真空泵時(shí),應(yīng)考慮以下幾點(diǎn)原則:

  (1)能否獲得所需要的工作真空度和極限真空度。

  (2)對(duì)被抽氣體是否有足夠大的抽速。

  (3)真空系統(tǒng)的殘余氣體成分是否合乎要求。

  (4)設(shè)備價(jià)格和維持運(yùn)行費(fèi)用的高低。

  (5)可靠性和操作難易程度。

  擴(kuò)散泵系統(tǒng)是比較常用的高真空系統(tǒng),一般可以獲得10-1~10-5Pa的工作真空,使用特別設(shè)計(jì)的擴(kuò)散泵及采用性能良好的擴(kuò)散泵油,再在泵的人口端使用擋油板和液氮冷阱,加以充分的烘烤除氣措施,可以獲得10-7Pa的極限真空。擴(kuò)散泵系統(tǒng)的特點(diǎn)是對(duì)各種氣體都能抽除,適宜長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作,擴(kuò)散泵沒(méi)有噪聲,價(jià)格比較低。缺點(diǎn)是開(kāi)啟或停止系統(tǒng)工作很耗時(shí),工作效率低,油污染嚴(yán)重。

  用機(jī)械泵作為前級(jí)泵的渦輪分子泵系統(tǒng),是目前常用的高真空系統(tǒng),有取代擴(kuò)散泵系統(tǒng)的趨勢(shì)。分子泵系統(tǒng)可以獲得10-1~10-6Pa的工作真空,可達(dá)到lO-8Pa的極限壓強(qiáng)。分子泵系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn):對(duì)各種氣體的抽速差別不大,起動(dòng)快、油污染很輕,稱(chēng)之為半無(wú)油系統(tǒng);能耗較低,容易做到自動(dòng)控制。缺點(diǎn):價(jià)格較高,顆粒物落人泵內(nèi)容易損壞。適用于要求油污染少且連續(xù)排除中等流量氣體的場(chǎng)合。

  建立全無(wú)油的超高真空系統(tǒng),可以采用濺射離子泵和低溫吸附泵組成的系統(tǒng)。這種系統(tǒng)可以獲得10-3~10-9Pa的清潔真空,主要?dú)堄鄽怏w是H2。但這種配置由于吸附泵的排氣量有限,起動(dòng)不方便,不適用于抽除氣體量大和頻繁起動(dòng)的場(chǎng)合。如果用機(jī)械泵串聯(lián)擋油吸附阱代替吸附泵,可以克服吸附泵排氣量小的缺點(diǎn),但代價(jià)是喪失了全無(wú)油的優(yōu)點(diǎn)。濺射離子泵系統(tǒng)的缺點(diǎn)是對(duì)惰性氣體的抽速很小,不適用于抽除以惰性氣體為主的負(fù)載氣體,另外其價(jià)格也較高。

  鈦升華泵的特點(diǎn)是極限真空度高,可以達(dá)到10-9Pa,對(duì)活性氣體的抽速很大,但對(duì)惰性氣體的抽速為零,因此它不適用于作為經(jīng)常要排除空氣的真空系統(tǒng)的主泵,而適于在擴(kuò)散泵、分子泵、濺射離子泵系統(tǒng)中作為提高極限真空度的輔助泵使用。

  低溫冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速最大、工作壓強(qiáng)范圍最寬、極限真空度最高(氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵可以達(dá)到10-10Pa,液氦型低溫冷凝泵可以達(dá)到10-13Pa)的真空泵,而且可以抽除所有氣體,能獲得全無(wú)油清潔真空。由于具有這些突出的優(yōu)點(diǎn),氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵在需要大抽速、超高清潔真空的半導(dǎo)體、新型顯示器件及其他高科技研究和產(chǎn)業(yè)中獲得了日益廣泛的應(yīng)用。低溫冷凝泵的缺點(diǎn)是價(jià)格很高,運(yùn)行中需要再生而不能長(zhǎng)期連續(xù)抽氣。

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