油擴(kuò)散泵(簡稱油擴(kuò)散泵)是一種以低壓高速油蒸氣為工作介質(zhì)的動量傳輸式射流真空泵。泵工作在高真空區(qū)域。油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，單位抽速所需成本較低；油擴(kuò)散泵沒有機(jī)械運(yùn)動部件，使用壽命長，可靠性高和維修方便。油擴(kuò)散泵特別適用于要求對大工作容器進(jìn)行快速抽空以及迅速排除被處理材料在處理過程中突然放出大量氣體的工藝過程。例如，真空冶金和真空熱處理設(shè)備。
工作時(shí)，先用前級泵將油擴(kuò)散泵及系統(tǒng)抽成預(yù)備真空，泵下部的鍋爐內(nèi)裝有泵油，用電熱器將泵油加熱使之沸騰蒸發(fā)而產(chǎn)生油蒸氣。由于泵內(nèi)預(yù)抽真空，壓力較低，故泵油可以在較低溫度(與工作介質(zhì)種類有關(guān)，一般為370～420K)下蒸發(fā)。擴(kuò)散泵油在真空下迅速揮發(fā)成蒸氣，油蒸氣沿導(dǎo)流管上升，由各級傘形噴嘴噴出。傘形噴嘴可以設(shè)一級、二級、三級、四級不等。高速噴出的油蒸氣打在水冷壁上又凝結(jié)成液體流回泵底，在重新加熱氣化，如此不斷循環(huán)。被抽系統(tǒng)中的氣體分子經(jīng)進(jìn)氣口擴(kuò)散進(jìn)入蒸氣射流內(nèi)部，在大量的高速定向運(yùn)動的油分子的碰撞下被攜帶到下一級射流，經(jīng)逐級擴(kuò)散攜帶壓縮，經(jīng)出口噴嘴和排氣口被前級泵抽走。在這個(gè)擴(kuò)散抽氣過程中存在兩個(gè)有害的反向擴(kuò)散：(1)被抽氣體分子被壓縮到泵的出El處，出口處與人口端就存在被抽氣體的密度差，出口處的被抽氣體分子就會向入口側(cè)反擴(kuò)散；(2)定向運(yùn)動的油分子與被抽氣體分子相碰撞，有一部分也會改變運(yùn)動方向進(jìn)入被抽系統(tǒng)。再加上噴嘴處油蒸氣分子密度大于被抽系統(tǒng)的油蒸氣密度，油分子也會反向擴(kuò)散到被抽系統(tǒng)中。上述兩個(gè)有害的反擴(kuò)散是影響油擴(kuò)散泵極限真空度提高的原因之一，同時(shí)也對真空系統(tǒng)產(chǎn)生油蒸氣污染。改善噴嘴設(shè)計(jì)和提高擴(kuò)散泵油的質(zhì)量，在泵的進(jìn)氣端設(shè)置液氮冷阱等，可以在一定程度提高泵的極限真空度，減輕系統(tǒng)的油污染。普通油擴(kuò)散泵的極限真空度可達(dá)10-5Pa，超高真空油擴(kuò)散泵可達(dá)5 X 10-8Pa。
油擴(kuò)散泵必須在用前級泵將系統(tǒng)壓力預(yù)先抽到低于擴(kuò)散泵的起始工作壓力后才能正常工作，而且油擴(kuò)散泵必須在正常抽氣工作前提前對泵油進(jìn)行加熱。油擴(kuò)散泵在裝配前必須清洗，裝入足夠的工作液體。泵s體冷卻水套必須通足夠壓力的冷卻水。未通冷卻水時(shí)，不要加熱擴(kuò)散泵油。停機(jī)時(shí)，先停止加熱，待油冷卻后現(xiàn)停止冷卻水。
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