真空泵的類型和性能參數(shù)

　　真空泵大致有機(jī)械真空泵、蒸氣流泵、吸氣劑泵、離子泵以及低溫泵五種類型：

　　(1)機(jī)械真空泵。它是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))的方法獲得真空的，其抽氣過(guò)程是基于工作室的容積周期性變化，故也稱為容積泵。有往復(fù)式機(jī)械真空泵、油封機(jī)械真空泵和羅茨真空泵。

　　(2)蒸氣流泵。它是利用高速蒸氣流來(lái)獲得真空的，它的抽氣過(guò)程是基于高速定向運(yùn)動(dòng)的蒸氣流與被抽氣體分子進(jìn)行能量交換而達(dá)到抽除氣體的目的。

　　(3)吸氣劑泵。它是利用化學(xué)反應(yīng)的方法獲得真空的，其抽氣過(guò)程是基于吸氣金屬或合金(吸氣劑)與某些氣體的化學(xué)反應(yīng)。有鈦升華泵、鋯鋁吸氣泵。

　　(4)離子泵。它是依靠氣體分子電離和化學(xué)吸附的方法來(lái)獲得真空的。有升華離子泵、靜電離子泵、濺射離子泵等。抽氣過(guò)程是利用高速電子使氣體分子電離，再借助電場(chǎng)力的作用，使離子達(dá)到活性表面、吸氣金屬表面或沉積有吸氣金屬膜的泵壁表面，達(dá)到排除氣體的目的。

　　(5)低溫泵。它是利用低溫冷凝和吸附的方法獲得真空的，抽氣過(guò)程基于深冷多孔性表面對(duì)氣體的冷凝與吸附。有低溫吸附泵、氦閉循環(huán)制冷機(jī)低溫泵等。

　　以上機(jī)械真空泵、蒸氣流泵兩類屬于“有油”類真空泵。它們是把被抽容器的氣體直接抽出泵外。吸氣劑泵、離子泵、低溫泵類屬“無(wú)油”類真空泵，它們是把被抽氣體暫時(shí)或永久地保存于    通常用以下參數(shù)來(lái)表征真空泵的工作特性：

　　(1)極限壓強(qiáng)。在沒(méi)有氣體漏人泵內(nèi)時(shí)，經(jīng)過(guò)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間的抽氣后，泵的人口處所能達(dá)到的穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。

　　(2)抽氣速率。在某一壓強(qiáng)下，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)泵進(jìn)氣口截面的氣體體積。

　　(3)最大入口壓強(qiáng)。泵在開(kāi)始工作前，被抽容器中所具有的壓強(qiáng)。

　　(4)最大反壓強(qiáng)。在不破壞真空泵的正常工作時(shí)，泵出口處所能承受的最大壓強(qiáng)。

　　(5)真空產(chǎn)生率。單位時(shí)間內(nèi)泵自容器中所排除的氣體質(zhì)量。

　　(6)壓縮比。真空泵的出口壓強(qiáng)與它的人口壓強(qiáng)的比值。

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