往復(fù)式真空泵的主要部件是氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)(包括十字頭)來完成的。除上述主要部件外，還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。

　　運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用(旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng))，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強(qiáng)不斷降低，當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)時(shí)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥不斷地被抽進(jìn)左腔，此時(shí)處于吸氣過程。當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著，活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5自動(dòng)關(guān)閉，氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí)，此時(shí)排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，重復(fù)上述循環(huán)，直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。

　　往復(fù)式真空泵一般有立式和臥式兩種。立式泵從結(jié)構(gòu)和性能上比臥式泵先進(jìn)。

　　在往復(fù)式真空泵中，活塞環(huán)、吸氣閥和排氣閥是重要的部件且為易損部件，其質(zhì)量的好壞直接影響泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運(yùn)行的可靠性。