無油渦旋真空泵技術(shù)與應(yīng)用簡介

無油渦旋真空泵技術(shù)與應(yīng)用簡介

為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子;系統(tǒng)運行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

上個世紀(jì)90年代初，世界上首臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術(shù)開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點：①.無油，無摩擦--非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；②.抽氣量大--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；③.抽氣效率高--帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；④.非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動??；⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；⑥.體積小，維修方便，維護費用低；⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。

該泵的主要技術(shù)指標(biāo)為

抽速(l/s)：2.0, 4.4, 8.7

    極限真空度(Pa)：1.0

    使用壽命(h)：40000

    大修間隔(h)：8000

冷卻介質(zhì)：空氣

噪聲(dB)：60

    電機功率(kW)：0.6

該泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域

①    導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

②    學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；

③    械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；

④    學(xué)工業(yè)；

⑤    療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；

⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

該泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國最近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。

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